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INFICON 控制器Guardian EIES 系列
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产品: 浏览次数:9INFICON 控制器Guardian EIES 系列 
品牌: INFICON
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最后更新: 2023-08-14 16:49
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详细信息
   Guardian 可以将沉积速率控制在 0.1 至 10,000 ?/s 之间。它可操作*或两个传感器、*多 8 个光学输入并控制*多 8 个沉积源,从而实现*多 8 种材料的共沉积。
  INFICON Guardian 非常适合光伏模块、OLED、光伏、超导薄膜和 MBE 制造等应用。
  Guardian 共沉积系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。使用 EIES,沉积的材料被热离子发射器激发,从而产生光子。产生的光穿过滤光片到达光电倍增管 (PMT) 检测器,该检测器测量通过波长的发射强度。然后,INFICON Guardian 控制器会生成*个信号来控制该材料的来源。带有适当滤光片的附加检测器可用于多种材料。
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