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INFICON 原子层沉积传感器系列
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产品: 浏览次数:8INFICON 原子层沉积传感器系列 
品牌: INFICON
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最后更新: 2023-08-14 16:46
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详细信息
   INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平 (QCM) 测量的可重复性、精度和耐用性引入原子层沉积 (ALD)。ALD 传感器可承受高达 450°C 的温度,设计用于在 ALD 应用的恶劣环境中运行。裸露的晶体电*完全接地,可有效消除任何潜在的电气干扰问题。
  专为 ALD 设计
  INFICON ALD 传感器的*个独特功能是*根气体管,用于使用惰性气体(通常是氮气)吹扫晶体背面和传感器腔体。这可以防止反应室气体进入传感器头,并保持晶体和电触点的背面没有沉积材料。该技术允许在标准 QCM 不适合的系统中进行原位测量。
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