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INFICON 质谱仪SPS系列
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产品: 浏览次数:9INFICON 质谱仪SPS系列 
品牌: INFICON
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最后更新: 2023-08-14 16:29
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详细信息
   INFICON Transpector? 单压采样 (SPS) 残余气体分析仪为目标高压工艺提供*佳的半晶圆和显示面板保护。Transpector SPS 通过针对单压力应用的*灵敏的空气泄漏和工艺污染检测,*大限度地减少晶圆和面板废料。它提供业界**的检测限和测量速度,以确保晶圆和面板输出的质量和数量。
  Transpector SPS 通过为稳定的高压过程提供*可靠的过程监控,*大限度地提高过程吞吐量和产量。该仪器将简单且具有成本效益的入口系统与经过现场验证的离子源和泵套件相结合,提供低风险和高回报的气体分析解决方案。Transpector SPS 是*般真空和工业应用的理想选择,是真空电弧重熔 (VAR) 等冶金和热处理应用的成熟解决方案。Transpector SPS 是可配置的,并且可以根据特定应用和预算进行定制。可选择标准孔板、毛细管和旁通管线组合来采样从 1E-4 Torr 到大气的过程压力。
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