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　　新型 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供业界**的测量速度，可监测和控制现代半导体和显示器制造所需的快速工艺变化。Transpector XPR 3+ 非常适合现场空气泄漏、气体纯度、碳氢化合物和污染物监测。与定期上升率测试相比，使用 Transpector XPR 3+ 进行实时测量可提供卓越得多的产品保护。