INFICON Transpector APX 仍然是市场**的半导体和显示器工艺监控残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 知道半导体和显示器客户有独特的需求,Transpector APX 的*新版本可以提供更大的灵活性来满足特定的应用要求,同时保持行业**的测量速度和灵敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 工艺监视器。
下*代 Transpector APX ALD 单压入口系统的设计能够承受容易产生颗粒或涂层的化学工艺,例如 ALD 或 PECVD。这样可以进行连续监控,以捕获所有关键流程步骤的数据点。此外,入口可进行温度控制,以抵抗腐蚀性气体,这对于腔室清洁端点监测应用至关重要。